比亚迪申请器件制备方法、设备及应用专利,有效改善多层外延层电阻率分布不均匀缺陷

金融界 2025 年 4 月 21 日消息,国家知识产权局信息显示,比亚迪股份有限公司申请一项名为“器件制备方法、设备及应用”的专利,公开号 CN119843358A,申请日期为 2024 年 11 月。

专利摘要显示,本申请提供一种器件制备方法、设备及应用,涉及半导体材料制备技术。其中,器件包括衬底和至少一个外延层;该方法包括:在对反应器内的衬底或第 x 层外延层进行外延淀积之前,向反应器内通入掺杂源;在掺杂源的通入时长到达预设时长后,对衬底或第 x 层外延层进行外延淀积,以得到位于衬底或第 x 层外延层表面的外延层。通过本申请的方法,能够有效改善多层外延层在竖直方向上电阻率分布不均匀的缺陷,从而有利于保障器件的性能和可靠性。

天眼查资料显示,比亚迪股份有限公司,成立于1995年,位于深圳市,是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本290926.5855万人民币。通过天眼查大数据分析,比亚迪股份有限公司共对外投资了98家企业,参与招投标项目960次,财产线索方面有商标信息1760条,专利信息5000条,此外企业还拥有行政许可134个。

本文源自:金融界

作者:情报员

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